Il forno di diffusione che potrebbe eseguire il processo di ossidazione è composto da un telaio del forno, un riscaldatore, un dispositivo di controllo del riscaldamento, un dispositivo di misura di temperatura, un tubo da forno al quarzo, un vassoio portante push-pull, un percorso del gas e un dispositivo di trattamento dei gas di scarico. I requisiti di controllo della temperatura di questo tipo di forni di diffusione sono i seguenti:
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Gamma di temperature riscaldanti |
Ambient -1100 grado |
Precisione di controllo |
± 2 gradi |
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Tasso di riscaldamento massimo |
15 gradi /min |
Uniformità temporanea |
± 0. 5 gradi /760mm |
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Frequenza di raffreddamento massima |
5 gradi /min |
Stabilità |
± 0. 5 gradi /24h |
Il forno di diffusione dell'ossidazione utilizza generalmente le termocoppie all'interno e all'esterno del forno per controllare la temperatura. Ogni zona di temperatura è dotata di una termocoppia interna e una esterna per garantire l'affidabilità del controllo della temperatura. S tipo Termocuple a semiconduttore (La pratica comune utilizza la termocoppia multi-punto che ha 3-9 diversi punti per afferrare le informazioni sulla temperatura) viene spesso scelto per essere la termocoppia interna che viene utilizzata per percepire la temperatura del wafer di silicio direttamente e potrebbe tradurre direttamente in display di temperatura del wafer preciso.
Descrizione dei prodotti
Strumento di Duchin ha sviluppato tipi di strutture per la termocoppia multi-punto, attrezzatura di calibrazione della termocoppia multi-punto per esperimenti, un tipo di struttura a raffreddore a freddo formulti a punto termocoppia, un tipo di struttura di imballaggio terminale per la teconazione multiplo per soddisfare le tecnologie multipli Sensimento di temperatura del forno di diffusione. I parametri tecnici della termocoppia a semiconduttore di tipo S specializzati per l'apparecchiatura fotovoltaica sono i seguenti:
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Parametri tecnici |
Termocoppia interna |
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Tipo |
S,R |
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Diametro del filo o dei mims |
φ0.35~0.5 |
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Temp (laurea) di lavoro |
0~1100 |
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Accuratezza (laurea) |
±1.0 |
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Lunghezza del tubo protettivo (mm) |
Meno o uguale a 4000 |
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Diametro del tubo protettivo (mm) |
φ12~18 |
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Materiale del tubo protettivo |
Quarzo |
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Struttura di fine calda |
Esposto |
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Numero di punti |
3 ~ 6 punti |
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Terminazione |
Piccolo connettore |
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Filo di compensazione |
Sc {{0}} × 0.5fpf |
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Caratteristiche della struttura |
Assemblare T/C in combinazione per ogni punto è piuttosto difficile |
Dettagli del prodotto


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Etichetta sexy: Termocuple a semiconduttore di tipo S, produttori di termocoppia a semiconduttore di tipo Cina, fabbrica

